日本研發用于火箭的高精度MEMS陀螺儀

最近，日本某公司和宇宙航空研究開發機構共同開發了用于國產火箭的高精度MEMS陀螺儀。該陀螺儀是用于監測火箭及衛星等航空、航天器航行位置的重要設備，新型MEMS陀螺儀精度比原有陀螺儀提高了一個數量級，達到了0.1°∕h。

在傳感器行業快速發展的今天，芬蘭VTI作為全球領先的加速度傳感器，陀螺儀生產商為傳感器發展提供了良好的發展機遇，芬蘭VTI公司成功研發并生 產了基于先進的3DMEMS技術的陀螺儀(角速率傳感器)。基于VTI公司20年MEMS的成功經驗，VTI的 MEMS陀螺儀產品，具有溫度漂移小，性能穩定，性價比高以及抗沖擊力強等特點。目前，陀螺儀已廣泛應用于智能手機和數碼相機等民用電子產品。在航空、航 天器上則至少需要安裝一個陀螺儀，使用激光作為光源的光學式陀螺儀是現行的主流設備。但光學陀螺儀存在結構復雜、技術要求高、耗電量大、成本高等缺陷，而 MEMS陀螺儀由于精度較低，不滿足航空、航天器的需要。

日本對該公司精度最高的MEMS陀螺儀進行了改良，將溫度特性校正方式由模擬改為數字以提高校正精度，并改善了傳感頭的材料和結構。通過改進，陀螺 儀的組成部件減少了一半，同時減輕了重量。之前在H2A火箭上搭載的光學式陀螺儀由玻璃和激光器件構成，新型MEMS陀螺儀在精度不變的情況下，價格是光 學式陀螺儀的百分之一(約為幾十萬日元)。